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    在對氣路連接的方式用了較快速連接法蘭結構從而使取放物料過程簡化到最快，僅僅需一支卡箍就可以完成氣路的連接，并取消了復雜法蘭的安裝，減少了爐管因安裝造成損壞的幾率大幅下降。

    cvd真空管式爐爐膛材料采用的多晶莫來纖維真空吸附制成，可使物料在不同溫度段可同時加溫，更有效的節能，節能50%，溫場均勻。電熱元件一端采用表面溫度1690℃的硅鉬棒，另一端用溫度1500℃的硅碳棒。密封法蘭采用雙環密封的技術，提高爐管兩端的氣密。

    消除氣路總成自身的應能力，且杜絕自身應力而造成的爐管損壞。氣路具有進出氣微量可調，兩端氣路支架支撐著氣路裝置先進的空氣隔熱技術，結合的熱感應技術，在爐體表面溫升到達50℃左右時排溫風扇將自動啟動加快體表降溫速度。